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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Aufdampfkontakten mit Kontakthoehen groesser 10 mum,insbesondere fuer Planarbauelemente
摘要
申请公布号 DE1621342(A1) 申请公布日期 1971.05.13
申请号 DE1967S110761 申请日期 1967.07.11
申请人 SIEMENS AG 发明人 FISCHER,HERMANN
分类号 H01L21/00;H01L23/485 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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