发明名称 |
PRECISION MASKING USING SILICON NITRIDE AND SILICON OXIDE |
摘要 |
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申请公布号 |
US3592707(A) |
申请公布日期 |
1971.07.13 |
申请号 |
USD3592707 |
申请日期 |
1968.06.17 |
申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. |
发明人 |
RALPH J. JACCODINE |
分类号 |
H01L21/311;H01L23/29;(IPC1-7):C23C11/06;H01L7/44 |
主分类号 |
H01L21/311 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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