发明名称 PRECISION MASKING USING SILICON NITRIDE AND SILICON OXIDE
摘要
申请公布号 US3592707(A) 申请公布日期 1971.07.13
申请号 USD3592707 申请日期 1968.06.17
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. 发明人 RALPH J. JACCODINE
分类号 H01L21/311;H01L23/29;(IPC1-7):C23C11/06;H01L7/44 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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