Verfahren zum Aufbringen einer Isolierschicht aus Siliziumdioxyd auf einen Koerper,申请号DE19681696616-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Aufbringen einer Isolierschicht aus Siliziumdioxyd auf einen Koerper
摘要
申请公布号	DE1696616(A1)	申请公布日期	1971.11.18
申请号	DE19681696616	申请日期	1968.03.01
申请人	TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH	发明人	JOACHIM ETRICH,HANS
分类号	C23C16/40;H01L21/316	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
主权项
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