| 发明名称 |
METHOD FOR SPUTTER DEPOSITING DIELECTRIC MATERIALS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3699034(A) |
申请公布日期 |
1972.10.17 |
| 申请号 |
USD3699034 |
申请日期 |
1971.03.15 |
| 申请人 |
SPERRY RAND CORP. |
发明人 |
STANLEY J. LINS;CHARLES J. NELSON |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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