发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5187975(A) 申请公布日期 1976.07.31
申请号 JP19750011877 申请日期 1975.01.30
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 KIMURA MINORU
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/22;H01L21/8247;H01L21/84;H01L27/12;H01L29/36;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
地址