发明名称 PRODUCTION OF FILM CARRIER TYPE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05287500(A) 申请公布日期 1993.11.02
申请号 JP19920085757 申请日期 1992.04.07
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 EBE AKINORI;OGATA KIYOSHI;NISHIYAMA SATORU
分类号 C23C14/04;C23C14/06;C23C14/20;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/06 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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