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发明名称 Chemischer Dampfablagerungsapparat.
摘要
申请公布号 DE69010835(D1) 申请公布日期 1994.08.25
申请号 DE19906010835 申请日期 1990.10.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MIYAZAKI, SHINJI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/34 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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