发明名称 COMPOSITE FILM FOR BUMP FORMATION AND FORMING METHOD FOR TRANSFER BUMP BASED THEREON
摘要
申请公布号 JPH06252149(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930036574 申请日期 1993.02.25
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 OUCHI KAZUO;SUGIMOTO MASAKAZU
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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