发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH MIT ESTERN DER 1,2-NAPHTHOCHINON-2-DIAZID-SULFONSÄURE UND EIN DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL.
摘要
申请公布号 AT123883(T) 申请公布日期 1995.06.15
申请号 AT19920105465T 申请日期 1992.03.30
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZAHN, WOLFGANG, DR.;MERREM, HANS-JOACHIM, DR.;ERDMANN, FRITZ, DR.;SCHMITT, AXEL, DR.
分类号 G03F7/00;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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