| 发明名称 |
Semiconductor device manufacturing apparatus and manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9522520(D0) |
申请公布日期 |
1996.01.03 |
| 申请号 |
GB19950022520 |
申请日期 |
1995.11.03 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;B01D19/00;G03F7/30;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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