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发明名称 Device and procedure for vacuum evaporation of a material and utilisation of the procedure
摘要
申请公布号 EP0444538(B1) 申请公布日期 1996.12.04
申请号 EP19910102573 申请日期 1991.02.22
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BERGMANN, ERICH, DR.;RUDIGIER, HELMUT, DR.
分类号 C23C14/32;H01L21/203;C23C14/24;C23C14/28;C23C14/30;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/305 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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