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发明名称 Ionenimplantergerät
摘要
申请公布号 DE69303409(T2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19936003409T 申请日期 1993.04.07
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AMEMIYA, KENSUKE, KATSUTA-SHI, JP;HAKAMATA, YOSHIMI, HITACHI-SHI, JP;TOKIGUCHI, KATSUMI, MITO-SHI, JP;SAKUDO, NORIYUKI, HITACHI-SHI, JP
分类号 C23C14/48;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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