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发明名称
CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR MEMORY ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH10144882(A)
申请公布日期
1998.05.29
申请号
JP19960302108
申请日期
1996.11.13
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
YAJIMA TSUKASA
分类号
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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