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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING PHOTOMASK AND METHOD OF FABRICATING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010033527(A) 申请公布日期 2001.04.25
申请号 KR1020007007029 申请日期 2000.06.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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