发明名称 EFFUSION CELL, EVAPORATING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 KR20060095242(A) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 KR20050016731 申请日期 2005.02.28
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 KIM, DO GEUN;JUNG, MIN JAE;HUH, MYUNG SOO;JEONG, SEOK HEON
分类号 C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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