发明名称 METHOD FOR IMPROVING QUALITY OF NITRIDE FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100753942(B1) 申请公布日期 2007.08.31
申请号 KR20040042782 申请日期 2004.06.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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