用于电浆增强式原子层沈积之设备及制程

摘要

本发明实施例提供一种可在诸如电浆增强式原子层沉积(PE-ALD)制程等原子层沉积(ALD)制程中形成材料的设备。在一实施例中，一喷头组件包含一喷头与一电浆隔板，该喷头与该电浆隔板用来将制程气体分散至电浆增强式气相沉积腔体中。该喷头面板包含一内面积与一外面积，该内面积中系用以安置该电浆隔板并且该外面积具有复数个用来释出制程气体的孔。该电浆隔板包含一位于一上表面上用以容纳另一制程气体的鼻头部、一用来释出制程气体的下表面以及复数个让制程气体从该上表面上方流入一处理区域中的开口。该等开口较佳为配置成具有一预定角度的狭缝，用来以一环形流动型态释出该制程气体。