处理气流的方法

摘要

本发明描述一种控制用于处理气流之减量系统之效率的方法，其中将该气流之一部分远离一电浆减量设备而转向以便自该气流移除一全氟物质，并返回至该减量设备上游之气流而作为真空泵之冲洗气。以此方式可减少该减量设备之功率要求以及减少添加至该气流以补足该冲洗气之惰性气体的量。