高温原子层沈积注入岐管

摘要

一种用于将一种或多种气体分配到原子层沈积(ALD)反应器之系统及方法。安装于喷头组件上方之一体注入岐管块包括：直接安装于其上之高温(高达200℃)额定阀以及短的容易吹净之反应物管线。一体通路以及金属密封避免了O形环以及沿流动通路之转接死区。所述岐管包括位于所述注入岐管块内用于吹净反应物管线之惰性气体通道。