研磨垫及其制造方法

摘要

本发明主要系关于一种研磨垫及其制造方法。该研磨垫包含一基底材料，该基底材料具有一表面，用以研磨一基板，其中该表面包含不织布及弹性体。该不织布系由长纤维制成且该弹性体嵌入不织布中。