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发明名称 SEMICONDUCTOR TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04110679(A) 申请公布日期 1992.04.13
申请号 JP19900228016 申请日期 1990.08.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUNAKURA TERUHIKO
分类号 G01R31/28;G01R31/26;G01R31/3193 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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