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Zum Messen der Schwingungsamplitude eines Scannerspiegels wird ein von einer Laserquelle erzeugter Laserstrahl auf den Scannerspiegel gerichtet und von diesem reflektiert, sodass der so reflektierte Laserstrahl auf eine Detektoreinrichtung (20) mit mehreren Photodetektorelementen (Q1, Q2, Q3, Q4) fällt und dort aufgrund der Schwingungsbewegung des Scannerspiegels eine Kurve (P) beschreibt. Die Kurve (P) wird hinsichtlich ihres Mittelpunkts um einen Offset (xoffset, yoffset) gegenüber dem Zentrum der Detektoreinrichtung (20) versetzt. Es wird die Zeitdauer (tON,X, tON,Y) bestimmt, in der die Kurve jeweils einen Detektorbereich (RX, RY) durchläuft, der jeweils einer auszumessenden Koordinate entspricht; und unter Verwendung des Verhältnisses der so bestimmten Zeitdauer (tON,X, tON,Y) zur Gesamtdauer (T) einer Schwingungsperiode und des Offsets (xoffset, yoffset) wird die Schwingungsamplitude (xpp, ypp) in Richtung der jeweiligen Koordinate bestimmt. |
