摘要 |
본 발명의 과제는, 예컨대 DC 플라즈마/고주파 플라즈마 조합 또는 2단 고주파 플라즈마를 포함하는 복잡한 프로세스를 사용하는 일 없이, 보다 간단한 방법에 의해 평활한 표면의 세라믹 비즈를 획득하는 세라믹 비즈의 제조 방법을 제공하는 것이다. 다른 과제는 세라믹 비즈를 제공하는 것이다. 본 발명은, 고전압 타입 직류 (DC) 플라즈마 건을 사용하여 획득한 층류의 열 플라즈마에 예열한 세라믹 원료를 투입하고, 냉각 고화시킨 후, 얻어지는 세라믹 비즈를 포집하는 기술에 관한 것이다. 세라믹 원료를 캐리어 가스로 보내면서, 노를 통해 연장된 내열성 튜브를 통과시킴으로써 세라믹 원료를 예열하고, 예열한 원료 분말을 열 플라즈마에 투입하여, 열 플라즈마에 대해 60°이상의 배출각으로 열 플라즈마로부터 세라믹 비즈가 배출되는 조건으로 열 플라즈마 처리하는 것이 바람직하다. 따라서, 표면이 평활하고 크랙 결함이나 내부 공극 결함이 적은 양호한 세라믹 비즈가 획득된다. |