| 摘要 |
본 발명은, 한 쌍의 가스 밸브의 하드 인터록을 갖는 가스 공급 수단을 구비하는 진공 처리 장치를 제공한다. 본 발명은, 노멀 클로즈형의 에어 구동 밸브를 이용하여 진공 처리를 행하기 위한 가스를 상기 진공 처리가 행하여지는 처리실에 공급하는 가스 공급부를 구비하는 진공 처리 장치에 있어서, 상기 가스 공급부는, 한 쌍의 상기 에어 구동 밸브의 일방이 개방인 경우, 상기 한 쌍의 밸브의 타방이 폐쇄가 되는 인터록 기능을 가지고, 상기 에어 구동 밸브을 구동하기 위한 에어를 제어하는 에어 회로를 구비하고, 상기 에어 회로는, 상기 한 쌍의 에어 구동 밸브의 각각에 대응하는 솔레노이드 코일을 갖는 전자 밸브를 이용하여 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. |
