发明名称 LID-OPENING/CLOSING DEVICE
摘要 본 발명의 덮개 개폐 장치(1)는, 장치 본체(2)와, 자물쇠 개폐 기구(30)와, 용기 고정부(80)를 구비한다. 장치 본체에는, 용기 본체(71)와, 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루는 덮개부(72)와, 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 개방 및 자물쇠 폐쇄를 행하는 자물쇠 기구(74)를 구비하는 포드(pod; 70)가 재치(載置)된다. 자물쇠 개폐 기구는, 장치 본체에 포드가 재치되었을 때에 상기 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합부(35)를 이동시킴으로써, 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방(開錠)동작, 및 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄(施錠)동작을 행한다. 용기 고정부는, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우에, 자물쇠 개폐 기구와 연동하여, 용기 본체를 장치 본체에 고정시킨다.
申请公布号 KR101657595(B1) 申请公布日期 2016.09.19
申请号 KR20157000135 申请日期 2013.04.17
申请人 무라다기카이가부시끼가이샤 发明人 후카야 노리야스
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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