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发明名称 PRODUCTION OF THIN LAYERS BY CATHODE SPUTTERING
摘要
申请公布号 CA596342(A) 申请公布日期 1960.04.19
申请号 CAD596342 申请日期
申请人 MEGATRON LIMITED 发明人 GABOR A. VESZI;PETER MARKUS
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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