发明名称 Method of producing electronic semiconductor devices by precipitation of monocrystalline semiconductor substances from a gaseous compound
摘要
申请公布号 US3226254(A) 申请公布日期 1965.12.28
申请号 US19620200525 申请日期 1962.06.06
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 REUSCHEL KONRAD
分类号 C30B23/00;C30B25/12;C30B35/00;H01L21/00;H01L21/205 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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