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发明名称 Verfahren zum epitaktischen Abscheiden einer Halbleiterschicht
摘要
申请公布号 DE1289833(B) 申请公布日期 1969.02.27
申请号 DE1964S094856 申请日期 1964.12.29
申请人 SIEMENS AG 发明人 HENKER;HEINZ DR.
分类号 C30B25/14;H01L21/00;(IPC1-7):23C11/00 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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