简易制作微细图案的方法

摘要

本发明系一种简易制作微细图案的方法，主要系利用预制图案的转移与乾式显影的技术，将电路图案简易的制作在承受基材上。其首先系预先形成一光阻图像于一转载基材上，再利用一可硬化之液态黏合剂将光阻图像转移于一承受基材，经硬化及剥除转载基材之步骤后，再进行选择性电浆蚀刻，而显现图案于承受基材上，无需多次光阻层涂布及乾燥的步骤，可免除一般非平坦基材面对光阻图案产生不良解像的影响，于制作多层积体电路时极为方便、简易，且藉由液态黏合剂的可移动性，可利于电路图案上、下整体的对位，尤其在积体电路的制作上深具利用价值。