| 发明名称 |
VACUUM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING A PROGRAMMED MASK MEANS HAVING A CLOSED FEEDBACK CONTROL SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3494853(A) |
申请公布日期 |
1970.02.10 |
| 申请号 |
USD3494853 |
申请日期 |
1967.06.30 |
| 申请人 |
UNIV. OF MINNESOTA:THE |
发明人 |
DONALD E. ANDERSON;WILLIAM T. PERIA |
| 分类号 |
C23C14/04;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00;C23C13/08 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
