发明名称 ION BEAM INTENSITY CONTROL WITH PULSED BEAM DEFLECTION AND SYNCHRONIZED ION SOURCE BLANKING
摘要
申请公布号 US3600573(A) 申请公布日期 1971.08.17
申请号 USD3600573 申请日期 1969.10.06
申请人 NIHON DENSHI KK. 发明人 EIJI WATANABE
分类号 H01J49/18;H01J49/32;(IPC1-7):H01J39/34;H01J37/34 主分类号 H01J49/18
代理机构 代理人
主权项
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