发明名称 Verfahren zum AEtzen einkristalliner Siliciumkoerper
摘要
申请公布号 DE1771751(A1) 申请公布日期 1971.12.30
申请号 DE19681771751 申请日期 1968.07.04
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 WAYNE TAYLOR,GUY;DEAN DYER,LAWRENCE;CLAY BRACKEN,RONALD
分类号 C30B33/00;C30B33/12 主分类号 C30B33/00
代理机构 代理人
主权项
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