| 发明名称 |
OPTICAL MASK WITH INTEGRAL SPACERS AND METHOD OF MAKING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3676002(A) |
申请公布日期 |
1972.07.11 |
| 申请号 |
USD3676002 |
申请日期 |
1969.06.30 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
WAYNE M. MOREAU;HANS R. ROTTMANN |
| 分类号 |
G03F1/14;(IPC1-7):G03B27/28 |
主分类号 |
G03F1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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