发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5553433(A) 申请公布日期 1980.04.18
申请号 JP19780126244 申请日期 1978.10.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAMOTO KEIJI;KAWANOBE TOORU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址