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发明名称
FORMING METHOD OF DEPOSIT FILM
摘要
申请公布号
JPS64724(A)
申请公布日期
1989.01.05
申请号
JP19870073610
申请日期
1987.03.27
申请人
CANON INC
发明人
KARIYA TOSHIMITSU
分类号
H01L21/205;H01L31/0248;H01L31/08
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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