发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01318248(A) 申请公布日期 1989.12.22
申请号 JP19880151653 申请日期 1988.06.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUCHITANI TAKAHIRO;NAGAMINE SHUNICHI;TOYOFUKU TAKESHI;SASAKI SEIJI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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