| 发明名称 |
DISPOSITIVO E PROCEDIMENTO PER LA DEPOSIZIONE DI MATERIALE SEMICONDUTTORE PURO MEDIANTE DECOMPOSIZIONE TERMICA. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITRM920066(A1) |
申请公布日期 |
1992.08.02 |
| 申请号 |
IT1992RM00066 |
申请日期 |
1992.01.30 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUR ELEKTRONIK-GRU |
发明人 |
BRUNNER GERHARD;RURLAENDER ROBERT;SCHNEGG ANTON;WOLF REINHARD |
| 分类号 |
C30B23/08;C01B;C01B33/035;C23C16/48;C30B25/02;C30B25/10;C30B29/06;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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