| 发明名称 |
TI-W TARGET MATERIAL AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0598435(A) |
申请公布日期 |
1993.04.20 |
| 申请号 |
JP19910259069 |
申请日期 |
1991.10.07 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
MASUDA KAORU;HIRAKI AKITOSHI |
| 分类号 |
C22C1/04;C22C27/04;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285 |
主分类号 |
C22C1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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