发明名称 INSPECTION DEVICE FOR CRYSTAL LATTICE SURFACE OF SINGLE CRYSTAL SAMPLE AND CLASSIFICATION DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH06249801(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930062948 申请日期 1993.02.26
申请人 RIGAKU CORP 发明人 KOBAYASHI YUJI
分类号 G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207 主分类号 G01N23/207
代理机构 代理人
主权项
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