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发明名称
INSPECTION DEVICE FOR CRYSTAL LATTICE SURFACE OF SINGLE CRYSTAL SAMPLE AND CLASSIFICATION DEVICE FOR SINGLE CRYSTAL SAMPLE
摘要
申请公布号
JPH06249801(A)
申请公布日期
1994.09.09
申请号
JP19930062948
申请日期
1993.02.26
申请人
RIGAKU CORP
发明人
KOBAYASHI YUJI
分类号
G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207
主分类号
G01N23/207
代理机构
代理人
主权项
地址
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