发明名称 INSPECTION APPARATUS FOR CUT-FACE OF DOUBLE-ROTATION-TYPE SINGLE-CRYSTAL MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH06249800(A) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 JP19930062947 申请日期 1993.02.26
申请人 RIGAKU CORP 发明人 MACHITANI YOSHIRO
分类号 G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207 主分类号 G01N23/207
代理机构 代理人
主权项
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