发明名称 METHOD FOR GROWING SIC SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0797299(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930264188 申请日期 1993.09.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKAHASHI ATSUSHI;KANETANI MASATOSHI
分类号 C04B41/91;C30B23/02;C30B29/36;H01L21/308;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
主权项
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