| 发明名称 |
METHOD FOR CHEMICALLY DEPOSITING VAPOR OF COPPER AND ALUMINUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08319566(A) |
申请公布日期 |
1996.12.03 |
| 申请号 |
JP19960044302 |
申请日期 |
1996.02.06 |
| 申请人 |
AIR PROD AND CHEM INC |
发明人 |
SUTEFUAN MAAKU FUAIN;DEIBITSUDO AASAA BOORINGU |
| 分类号 |
C23C16/06;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/18 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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