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发明名称 TROCKENÄTZVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE68926855(T2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19896026855T 申请日期 1989.11.17
申请人 KABUSHIKI KAISHA SHIBAURA SEISAKUSHO, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NONAKA, MIKIO, KABUSHIKI KAIHA TOKUDA SEISAKUSHO, ZAMA-SHI, KANAGAWA 228, JP;HARA, HIROYUKI, KABUSHIKI KAISHA TOKUDA SEISAKUSHO, ZAMA-SHI, KANAGAWA 228, JP
分类号 H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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