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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10163427(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960317595 申请日期 1996.11.28
申请人 NEC CORP 发明人 HARA HIDEKI
分类号 H01L21/28;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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