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发明名称 Licht-Detektionsvorrichtung mit Beugungsgitter
摘要
申请公布号 DE69226885(D1) 申请公布日期 1998.10.15
申请号 DE19926026885 申请日期 1992.01.10
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SEKIGUCHI, YOSHINOBU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;NATSUHIKO MIZUTANI, NATSUHIKO MIZUTANI, TOKYO, JP
分类号 G01J1/02;G01J1/04;G01J3/18;G02B6/122;G02B6/34;H01L31/10;H01S5/026;H01S5/0625;H01S5/0687;H01S5/187;H01S5/50;H04B10/02;H04B10/28;(IPC1-7):G02B6/12;H01S3/133 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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