发明名称 Pattern generator
摘要
申请公布号 EP0255118(B1) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19870110962 申请日期 1987.07.28
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KAWAGUCHI, IKUO;KIKUCHI, SHUJI;HAMABE, CHISATO
分类号 G01R31/319;G06F7/544;(IPC1-7):G01R31/28;G11C29/00 主分类号 G01R31/319
代理机构 代理人
主权项
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