Radiation-sensitive composition and its use

摘要

Ein strahlungsempfindliches Gemisch enthält folgende Komponenten: ein filmbildendes Polymer, das einen säurelabilen, hydrolysestabilen Polymerbaustein und einen thermisch stabilen Polymerbaustein aufweist; eine bei Bestrahlung eine Säure freisetzende strahlungsempfindliche Verbindung; ein Lösemittel; gegebenenfalls Additive. Dieses strahlungsempfindliche Gemisch kann zur Herstellung von positiven oder negativen Reliefstrukturen dienen, jeweils mit einem wäßrigen Entwickler.