METHOD OF POSITION DETECTION AND METHOD AND APPARATUS OF PRINTING PATTERNS BY USE OF THE POSITION DETECTION METHOD,申请号KR19910012505-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF POSITION DETECTION AND METHOD AND APPARATUS OF PRINTING PATTERNS BY USE OF THE POSITION DETECTION METHOD
摘要
申请公布号	KR100254024(B1)	申请公布日期	2000.06.01
申请号	KR19910012505	申请日期	1991.07.22
申请人	HITACHI, LTD.	发明人	KATAGIRI, SOICHI;MORIYAMA, SHIGEO;TERASAWA, TSUNEO;ITOU, MASAAKI
分类号	G01B11/27;G01D5/30;G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G01B11/27
代理机构		代理人
主权项
地址