| 发明名称 |
METODOS Y APARATO PARA BOMBARDEO IONICO DE MAGNETRON. |
| 摘要 |
UN APARATO CON UNA CAMARA DE VACIO PARA EXTENDER UNA PELICULA DELGADA DE MATERIAL SOBRE UN SUBSTRATO QUE ESTA SIENDO MOVIDO A TRAVES DE UN CONDUCTOR, CONTIENE: UNA SUPERFICIE DE DESTINO DE FORMA CILINDRICA (17) QUE GIRA SOBRE UN EJE ALARGADO (15) DE LA MISMA QUE ESTA ORIENTADO A EXTENDERSE TRANSVERSALMENTE AL CONDUCTOR SUBSTRATO, INCLUYE IMANES EN LA CARA DEL CONDUCTOR, SIENDO LA SUPERFICIE DE DESTINO MANTENIDA A UN VOLTAJE NEGATIVO, DE MODO QUE SE DEFINA UNA ZONA DE DEPOSITO ENTRE EL OBJETIVO Y EL CONDUCTOR SUBSTRATO QUE SE EXTIENDE A LOS LARGO DE LA LONGITUD DEL CILINDRO, E INCLUYE AL MENOS UN ANODO (51) ADYACENTE A LA SUPERFICIE DE DESTINO Y CONECTADO A UN VOLTAJE POSITIVO DE UNA FUENTE DE ENERGIA PARA AJUSTAR UN PERFIL QUE CORTE LA ZONA DE DEPOSITO DE UN INDICE DE DEPOSITO DE MATERIAL EN EL SUBSTRATO.
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| 申请公布号 |
ES2145213(T3) |
申请公布日期 |
2000.07.01 |
| 申请号 |
ES19950301380T |
申请日期 |
1995.03.03 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP, INC. |
发明人 |
SIECK, PETER A.;NEWCOMB, RICHARD;TRUMBLY, TERRY A.;SCHULZ, STEPHEN C. |
| 分类号 |
H05H1/46;B01J19/08;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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