细密晶粒的电镀阳极的制造

摘要

通过一程序制成一连续浇铸的铜锭子，在此浇铸操作过程中，对金属/固体界面进行扰动。然后热加工该锭子以形成一坯锭，它具有一较小平均晶粒尺寸和一比现有技术可能的直径大的直径。该坯锭特别适用于制造用于波形花纹工艺的电镀阳极，所述工艺用于制作硅晶片中的铜质互联。

主权项

1.一种用来生产用于制造电镀阳极的坯锭的工艺包括：通过紊流浇铸形成一铜或铜合金锭子，以及热加工这样形成的锭子，以形成一坯锭。